Le buffered oxide etch (BOE - oxyde gravant tamponné) est une solution gravante utilisée en micro-fabrication. Cette solution est essentiellement utilisée pour graver des couches minces de dioxyde de silicium ou de nitrure de silicium . Trouvé sur https://fr.wikipedia.org/wiki/Buffered_oxide_etch
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Le buffered oxide etch (BOE - oxyde gravant tamponné) est une solution gravante utilisée en micro-fabrication. Cette solution est essentiellement utilisée pour graver des couches minces de dioxyde de silicium ou de nitrure de silicium .